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Infrared Microscopy for e.g. adjustment or front/rear side alignment on Si-Wafers

Infrared Microscopy for e.g. adjustment or front/rear side alignment on Si-Wafers

We customize IR microscopes depending on your requirements. Please contact us.
Wir stellen IR-Mikroskope nach Kundenanforderungen zusammen. Bitte fragen Sie an.

 
Art.No.:IR_mikroskop


Description:
 
IR- microscopes are equipped with special IR objectives. As the IR spectral range is not visible for the human eye, there is no "normal" view. That is why here the sensitive IR camera is applied. Transmitted light with a high IR-part is used as illumination.
Beschreibung:

IR-Mikroskope sind mit speziellen IR-Objektiven ausgerüstet. Da das infrarote Spektrum für das menschliche Auge nicht sichtbar ist, gibt es keinen "normalen" Einblick. Deshalb kommt hier eine IR-empfindliche Kamera zum Einsatz. Als Beleuchtung dient ein Durchlicht mit hohem IR-Anteil.
Range of applications:
  • Flip side inspection
  • Inspection without damage of internal parts
  • Top bottom alignment (e.g. wafers)
Einsatzgebiete:
  • Rückseiteninspektion
  • Zerstörungsfreie Inspektion innen liegender Bauteile
  • Top-Bottom-Alignment (z.B. Wafer)
Example of Application:
 
The view switches back and forth between front- and rear side of the specimen. The front is illuminated with visible incident light (without IR filter).

The brightly illustrated parts appear dark on the infrared illuminated rear side.

Anwendungsbeispiel:

Die Ansicht wechselt zwischen Vorder- und Rückseite des Bauteils. Die Vorderseite wurde mit sichtbarem Auflicht beleuchtet (ohne IR-Filter).
 
Die Teile, die hier hell zu sehen sind, erscheinen auf der mit Infrarot-Durchlicht beleuchteten Rückseite dunkel.
 IR-mikroskopie.gif
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