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Leica Leitz Ergoplan imaging system for CD- and Overlay Measurement

Leica Leitz Ergoplan imaging system for CD- and Overlay Measurement

Line width and overlay measurement with subpixel precision, software for semi automated and fully automated operation. Subpixelgenaue Linienbreitenmessung, Overlaymessung, Kombinationen mit Inspektion und Defekt Review möglich
 
Art.No.:Ergopl CD

ProMicron
24 Bachmühlweg
74366 Kirchheim /Neckar

Telephone: +49 7143 - 40560
Fax: +49 7143 - 405629
Email: info@promicron.de

 leitz-ergoplan-inspektionsmikroskop-l-2.jpg
Application example for special solution
 
Fully motorized Leica Leitz high-end microscope for highly demanding measuring tasks. Configuration with inspection tasks available.
 
We offer individual solutions for CD or thin film measurement. Even exotic substrate forms are possible (see image substrate on foil)
 
Voll motorisiertes Leica bzw. Leitz Hochleistungsmikroskop für anspruchsvolle Messaufgaben.
 
Wir bieten für Strukturbreitenmesstechnik oder Schichtdickenmesstechnik individuelle Lösungen. Auch exotische Substratformen sind möglich (siehe Abbildung Bsp. Substrat auf Rollen)
 
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Software for this Product 
   
MCS CD imaging software for Critical Dimension, Linewidth and Overlay Measurement; Overlay und Strukturbreitenmessung