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INM100/INM200 Infrared Configuration

INM100/INM200 Infrared Configuration

INM200 automated microscope for measurement and inspection tasks. Laser autofocus, highest resolution from UV to NIR
INM200 Automatisches Mikroskop für Messung und Inspektion. Laser autofokus, höchste Auflösung von UV bis NIR
 
Art.No.:INMseries

ProMicron
24 Bachmühlweg
74366 Kirchheim /Neckar

Telephone: +49 7143 - 40560
Fax: +49 7143 - 405629
Email: info@promicron.de

INM microscope series are available in special NIR configuration and can combine infrared inspection tasks with automatic CD and film thickness measurement. The MCS software easily allows mixing jobs between inspection and metrology operations.
 
Highest Leica optical performance make even the smallest structures visible.
Resolution up to 0.18 microns by UV optics and broadband lens coatings offers high performance up to the near-infrared.
 
Fully automatic setting of all illumination methods (HF, DF, ICR, FL and confocal contrast) as well as the field diaphragm aperture, the aperture stop and a grey filter.
Dynamic laser autofocus for all contrasting methods
With our own engineering capabilities, sophisticated systems for high-resolution measurement and inspection are designed for you.
 
Die INM Mikroskop-Serien sind in spezieller NIR Konfiguration erhältlich. Sie verbinden Infrarot-Inspektionsaufgaben mit automatischer CD und Schichtdickenmessung. Die MCS Software eignet sich gut für eine gemischte Anwendung von Jobs mit Inspektions- und Metrology Betrieb.
Höchste optische Leica Performance um auch kleinste Strukturen sichtbar zu machen.
Auflösung bis zu 0,18 Mikrometer mit UV Optik und breitbandige Linsenbeschichtung bieten Höchstleistung bis ins Infrarot.
 
Vollautomatisches Schalten aller Kontrast- und Beleuchtungsmethoden (HF, DF, ICR, FL und konfokal Kontrast), ebenso die Feld- und Aperturblende.
Dynamischer Laser Autofokus für alle Kontrastarten.
 flyer-aufl-l.jpg
 
Incident light
flyer-ir-dl-l.jpg
 
NIR transmitted light 
 mcs-l-2.jpg
 bond-contact-l.jpg
 
Bond contacts viewed from rear trough silicon
 
 Features / Options
  • MCS software suite for inspection, review and a wide variety of measuring tasks: line-width, overlay, film thickness, step height and surface profiles
  • Scanning stages of ultra-fast "On the fly" scanning 
  • White Light CONFOKAL MODULE for 3D surface metrology
  • Incident and transmitted light for VIS and NIR spectral range
Merkmale / Optionen
  • MCS Software Suite für Inspektion, Review und eine große Reihe von Messaufgaben: Linienbreiten, Overlay, Schichtdicken, Kantenhöhe und Oberflächenprofile
  • Scanning Tische für ultra schnelles ON THE FLY SCANNING.
  • Weißlicht Konfokalmodul für 3D Oberflächen Metrologie
  • Auflicht und Durchlicht für VIS und NIR Spektralbereich
 
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