The MCS Confocal module in conjunction with the hardware (the white light confocal module) microscope, extends the microscope with a very fast and accurate 3D metrology method. White-light confocal microscopy is a very universal and stable method method of extracting lateral and especially longitudinal high-resolution 3D geometry data. |
Das MCS Confocal Modul erweitert im Zusammenwirken mit der Hardware, dem whitelight confocal Modul, das Mikroskop um ein sehr schnelles und hochpräzises 3D Metrology Verfahren. Weisslichtkonfokalmikroskopie ist ein sehr universell einstzbares und robustes Verfahren zur Gewinnung lateral und insbesondere longtitudinal hochauflösender 3D Geometrie Daten. |
Using the interferometry contrast method, the resolution along the vertical axis is independent of the magnification. In contrast to that, the confocal discrimination increases with the numerical aperture of the used objectives when using the MCS confocal module. Confocal optical measurements are therefore perfect for high magnifications i.e. for displaying and measuring of the smallest structures. Objectives starting at 20x, better 50x or even 100x or 150x/0,95 should be used. |
Im Unterschied zur Interferometrie wo die Auflösung in vertikaler Richtung unabhängig von der Vergrößerung ist nimmt, die konfokale Diskriminierung stark mit der numerischen Apertur (NA) des verwendeten Objektivs zu. Konfokale optische Messtechnik eignet sich deshalb für hohe Vergrößerungen d.h. zur Abbildung und Vermessung kleinster Strukturen. Objektive ab 20x , besser 50x, und 100x oder ideal 150x/0,95 werden verwendet . |