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Inspection & Review station for Defect Review, automated, robot waferhandling 3 to 8 Wafer, Classification and Documentation

Inspection & Review station for Defect Review, automated, robot waferhandling 3" to 8" Wafer, Classification and Documentation

Automatische Station, Inspektion und Defektreview für Wafer/Substrate auf Basis von importierten "Defektdaten" "defectfiles" für KLARF Daten
 
Art.No.:Review_Station

ProMicron
24 Bachmühlweg
74366 Kirchheim /Neckar

Telephone: +49 7143 - 40560
Fax: +49 7143 - 405629
Email: info@promicron.de

Micro Inspection & Review
  • Optical review for wafers based on  imported scanner data
  • Interactive defect classification by operator
  • Freely definable defect code table
  • Data import for KLARF* data
  • Tables (with colours adjustable for display on wafer-map)
  • Fast recipe creation by import of chip designs of KLARF* (no manual teaching necessary)
  • The reference point is picked up by defect scanner
  • Fine alignment of defects in order to increase precision
  • For offset correction or for tool matching
  • Graphical display of defects on focus-adjustable wafer-map
  • Overlay display of defects in live camera picture
  • Comfortable sorting function and complex possibilities of logical relations (for any characteristics) i.e. defect size 
  • Comfortable table positioning on wafer-map (mouse click on defect)
  • Display of current position on wafer-map
  • Automatic picture saving
  • Image documentation with overlay of the microscope parameter possibility of reset (of microscope settings)
  • Updating of defect files after review (write KLARF* File)
  • Auto-alignment, precise moving to coordinate positions and alignment structures  

Options:
SECS GEM Interface
Makro-inspection with Taumler

*KLARF is a registered trademark of KLA Tencor.

Inspektion & Defect Review System
  • Defekt Review für Wafer auf Basis von importierten KLA Defektdaten "KLARF* Files"
  • Interaktive Defektklassifizierung durch Operator
  • Frei definierbare Defectcodes-Tabellen (farblich einstellbar für Anzeige auf Wafermap)
  • Schnelle Rezepterstellung durch Import des Chipdesigns von KLARF* (manuelles Einlernen des Designs entfällt)
  • Refenzpunkt Übernahme vom Defektscanner
  • Feinalignment an Defekten zur Steigerung der Genauigkeit (für Offsetkorrektur bzw. für Toolmatching)
  • Grafische Darstellung der Defekte auf zoombarer Wafermap
  • Overlay Darstellung der Defekte im Kameralivebild
  • Komfortable Sortierfunktionen und komplexe logische Verknüpfungsmöglichkeiten (für beliebige Merkmale z.B. Defektsize )
  • Komfortable Tischpositionierung auf Wafermap (mouseclick on defect)
  • Anzeige der aktuellen Position auf der Wafermap
  • Automatisches Speichern von Bildern
  • Bilddokumentation mit Overlay der Mikroskopparameter (Rückführbarkeit der Mikroskopeinstellungen)
  • Aktualisierung des Defektfiles nach dem Review (write KLARF* File)
  • Autoalignment präzises Anfahren von Koordinaten / Alignmentstrukturen
Optionen:
SECS GEM Interface
Makroinspektion mit Taumler
 
*KLARF ist ein eingetragenes Warenzeichen von KLA Tencor.

                                                 Review screenshotl.jpg
 
                                                  img_0107-l-2.jpg
 
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