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Thinfilm-Measurement

Thinfilm-Measurement

Schnelle und berührungslose Schicht- dickenmessung, optische Dünnfilm Dickenbestimmung für einzelne Schichten oder vielschichtige Stapel (Standard Messumfang 50 nm bis 50 Mikrometer)
 
Art.No.:app_tfm

ProMicron
24 Bachmühlweg
74366 Kirchheim /Neckar

Telephone: +49 7143 - 40560
Fax: +49 7143 - 405629
Email: info@promicron.de

Das Messsystem, das neue Standards setzt:
  • Vollautomatisch
  • Präzise und effizient
  • Hoher Durchsatz
  • Simultane Messungen
  • Brechungskoeffizientenmessung
  • Programmierbarer Werkstoffkatalog
  • 2D/3D Mapping
  • Motorisierter Kreuztisch
  • Faser-Miniatur-Spektrometer ohne bewegte Teile
  • Wafer Transport: schnell, sicher und kontaminationsfrei
  • Modularer Aufbau
  • Hohe Reproduzierbarkeit
  • 400-800 nm Spektrale Bandbreite
  • Kleinste Größe des Messpunktes 4 µm
  • Schichtdickenverteilung in 2D und 3D
  • Automatisches Hochleistungsmikroskop
  • Hohe Präzision bei x/y Positionierung
  • Echtzeit Laser Autofokus
  • Wafer Größe von 100mm bis 200mm dm
  • Reinraumklasse 1 kompatibel
  • Einfache Bedienung
  • Hohe Verlässlichkeit
Optionale Funktionen:
  • Wafer Inspektion und Defekt Review
mcs_dm6000_ thinfilm measurement.jpg
MCS-TFM in Kombination mit Leica DM6000 Mikroskop
tfm_fasersonde.jpg
Anwendungsgebiete:
 
Halbleiterfertigung
  • Photolacke
  • Oxide
  • Nitride
Oberflächenbeschichtungen, Coatings
  • Antireflexschichten
  • Filter; Filterschichten
  • Schutzschichten
Displayfertigung
  • Cell Gap
  • Polimide
  • ITO Schichten
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Oberfläche der Schichtdickenmessung
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